基于MEMS可调谐滤光片，可用于微型红外相机进行单光谱近红外图像捕获
通过ColorIR™近红外MEMS可调谐滤波器实现红外微型光谱相机，可以捕获单光谱近红外图像。通过修改法布里-珀罗干涉腔位置（即光学间隙）可以选择其拍摄照片波长。
Unispectral的可调谐MEMS滤波器可以适用于任何微型红外相机[消费电子、专业设备、移动设备]，通过多光谱功能将红外相机升级为鉴权、缺陷检测和识别设备。
- 成本低 – 尺寸小
- 良好的环境适应力、如温度、噪音、机械冲击等
- 可以集成在双孔径系统中
- 灵活的架构
- 低功耗
工作方法：
多次曝光照相机，每帧拍摄不同的波长
通过在MEMS上施加不同电压选择每帧波长
ColorIR™近红外可调谐滤波器技术参数：
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 尺寸 | 3.4 x 3.4 x 1.25 mm |
| 通光孔径 | 1.3 mm (/1.8mm) |
| 光谱响应 | 688-938nm |
| 切换精度 | +/- 3nm |
| FWHM | 25nm ± 5 |
| 环境温度 | 0͒÷70͒c |
| 切换时间 | 5ms |
特点:
滤波器面积大小11.56 mm²
圆片级密封封装
5个焊盘管脚接口 - 4个电压执行器+1个接地
3自由度控制 – 1个垂直方向+2个倾斜角度
应用
